技術紹介 当社の技術

高圧鋳造による鋳ぐるみ

鋳ぐるみ

鋳巣が少なく伝熱性と均熱性に優れた長寿命の鋳ぐるみヒーター (アウトガスの発生を極力抑えられるため半導体の製造装置などに適する) セラミックスとの複合化により、より高温仕様のヒーターを実現 (熱膨張率が小さい、寸法安定性に優れる)

フローイメージ

ヒーター線(SUS、インコネルなど)をアルミで鋳ぐるむ

ACM-a

従来の鋳ぐるみヒーターは鋳巣(空隙)があり、ヒーター線からの熱伝導が妨げられ、均熱性はあまり良くありませんでした。
そのため、ヒーター線に熱がこもりやすい場所が出来、ヒーター線に不必要に負担をかけることとなり、ヒーター寿命を短くしていました。

また、鋳巣があることで、たとえば、半導体や液晶製造装置のような高真空雰囲気ではアウトガスの心配が発生し使用には向きませんでした。

ヒーター母体はアルミ合金で熱膨張が大きく、ヒーターの寸法安定性を重視する使用には不向きであり、200℃を超える使用では著しい剛性の低下で、形状が不安定となり限られた温度範囲および用途に留まってました。

当社開発品は、溶湯鍛造法を用いることで鋳巣の極めて少ないヒーターとなり、均熱性が良く、アウトガスの心配もない、長寿命な製品となりました。

また、セラミックスを強化材として同時に鋳ぐるむ(複合化する)ことにより、350℃~400℃温度帯でも充分使用可能なヒーターも開発しました。
セラミックスを強化材としたことにより、ヒーターの熱膨張を小さくでき、寸法安定性が確保され、半導体(成膜用、エッチング用、アッシング用)及び液晶成膜用鋳ぐるみヒーターなど、多くの用途に向くヒーターです。

ACM-a ACM-a

特徴

  • 均熱性が良い
  • 高温(400℃)でも
    変形しない
  • アウトガスが
    発生しない
  • 長寿命