鋳鉄なみの
強度・剛性
軽量
(鋳鉄の約1/3)
高耐熱性
材質:アルミニウム +ホウ素 複合材
用途例:半導体製造装置用X-Yテーブル部材、高速高精度テーブル部材、測定機器用可動部部材
代替素材: 鉄、SUSなどの金属
製造可能サイズ(mm):250 x 200 x t10~t80 (応相談)
軽量でヤング率が高く、切削加工に優れた材料です。 従来のロボットハンドやX-Yテーブルに利用されている材料の中で、例えば鉄では慣性重量があり位置精度に問題があり、アルミ合金では軽量であるがヤング率が低く高速移動で振動が発生する問題、アルミナ焼結体では加工が難しく加工コストが極めて大きいく、割れやすいなどの問題がありました。 これら問題点を当社開発材料が解決いたします。
また、表面硬度も高くすりあわせ精度を高めることができますので、測定装置のガイド部やテーブル部にも適しています。
機械的特性 | |||||||
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引張強度 MPa | 曲げ強度 MPa | ヤング率 GPa | |||||
290 | 370 | 115 | |||||
熱的特性 | |||||||
熱膨張率 ppm/K | 比熱 Cp | 熱拡散α | 熱伝導率λ | ||||
12 | 0.92 | 0.3 | 81 | ||||
密度ρ g/㎝3 | |||||||
2.8 |