良クリープ性
良均熱性
高温雰囲気環境(寸法安定性)
腐食性ガス耐性
高靭性
低内部欠陥
材 質:金属基セラミクス複合材料
用途例:ヒーター用部材(~300℃) CVD・PVD装置内部材 高温雰囲気内ボルト・ナット
代替例:各種アルミ(A1050、A5052、A6061など) 耐熱金属(Ni系) Al-SiCなどの高強度複合材
製造可能サイズ(mm):250 x 200 x t10~t80 (応相談)
アルミニウム合金とアルミナ材の複合材料です。 基材と強化材の組み合わせを変化させることによって、様々な特性を得ることができます。 例えば以下のようなご提案が可能です。
A)引張強度・良クリープ性を求められる場合、Alcx – Fタイプ
B)圧縮強度・耐熱性を求められる場合、Alcx – Pタイプ
用途として、半導体製造用ヒーター部材、CVD・PVDなどのヒーター部材、半導体製造用装置内部材、フッ素雰囲気内ボルト類などがあります。
機械的特性 | |||||||
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引張強度 MPa | 曲げ強度 MPa | ヤング率 GPa | |||||
300 | 450 | 150 | |||||
熱的特性 | |||||||
熱膨張率 ppm/K | 比熱 Cp | 熱拡散α | 熱伝導率λ | ||||
11~14 | 0.995 | 0.28 | 90 | ||||
密度ρ g/㎝3 | |||||||
3.2 |