複合材料紹介

金属基セラミクス複合材料 AC-Alox

良クリープ性
良均熱性
高温雰囲気環境(寸法安定性)
腐食性ガス耐性
高靭性
低内部欠陥

材 質:金属基セラミクス複合材料
用途例:ヒーター用部材(~300℃) CVD・PVD装置内部材 高温雰囲気内ボルト・ナット
代替例:各種アルミ(A1050、A5052、A6061など) 耐熱金属(Ni系)  Al-SiCなどの高強度複合材

製造可能サイズ(mm):250  x  200  x  t10~t80 (応相談)

アルミニウム合金とアルミナ材の複合材料です。 基材と強化材の組み合わせを変化させることによって、様々な特性を得ることができます。 例えば以下のようなご提案が可能です。

A)引張強度・良クリープ性を求められる場合、Alcx – Fタイプ

B)圧縮強度・耐熱性を求められる場合、Alcx – Pタイプ

用途として、半導体製造用ヒーター部材、CVD・PVDなどのヒーター部材、半導体製造用装置内部材、フッ素雰囲気内ボルト類などがあります。

機械的特性
引張強度 MPa 曲げ強度 MPa ヤング率 GPa
300 450 150
熱的特性
熱膨張率 ppm/K 比熱 Cp 熱拡散α 熱伝導率λ
11~14 0.995 0.28 90
密度ρ g/㎝3
3.2
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