異種素材をつなぐことで新たな特性を発揮させる「接合」
概要
- アルミニウムにステンレスまたは銅パイプの内臓が可能
- アルミニウムと異種素材(熱膨張率に差異)もしくは同一素材を溶湯鍛造法の高温・高圧で接合
冷却プレート
IHI対応グリルプレート
特徴
- 上下の冷却プレートにマイカヒーターを挟み込むことにより、加熱と冷却の両方を一体化した構造が可能 (例 Hot & Cold plate)
- IH対応のための鉄+軽量化のためのアルミニウムで接合が可能
用途
| 用途 | 真空ポンプ用 Φ250 冷却プレート |
|---|---|
| 特徴 | アルミ+ステンレスパイプ+アルミ ステンレス製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板ではさみ接合 高圧接合により密着度が高く、パイプの冷却に優れ、熱だまりの少ない、優れたた水冷板 |
| 用途 | 半導体製造装置用冷却部品 |
|---|---|
| 特徴 | アルミ+銅パイプ+アルミ 銅製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板ではさみ接合 |
| 用途 | IH対応グリルプレート |
|---|---|
| 特徴 | 鉄発熱体+アルミ 接合面は表面処理 |
