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当社の接合製品

異種素材をつなぐことで新たな特性を発揮させる「接合」

概要
  • アルミニウムにステンレスまたは銅パイプの内臓が可能
  • アルミニウムと異種素材(熱膨張率に差異)もしくは同一素材を溶湯鍛造法の高温・高圧で接合
特徴
  • 上下の冷却プレートにマイカヒーターを挟み込むことにより、加熱と冷却の両方を一体化した構造が可能 (例 Hot & Cold plate)
  • IH対応のための鉄+軽量化のためのアルミニウムで接合が可能
用途
用途 真空ポンプ用 Φ250 冷却プレート
特徴 アルミ+ステンレスパイプ+アルミ
ステンレス製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板ではさみ接合
高圧接合により密着度が高く、パイプの冷却に優れ、熱だまりの少ない、優れたた水冷板
真空ポンプ用 Φ250 冷却プレート
真空ポンプ用 Φ250 冷却プレート
用途 半導体製造装置用冷却部品
特徴 アルミ+銅パイプ+アルミ
銅製の水冷間管パイプを2枚のアルミ板ではさみ接合
半導体製造装置用冷却部品
半導体製造装置用冷却部品
用途 IH対応グリルプレート
特徴 鉄発熱体+アルミ
接合面は表面処理(溶射)
IH対応グリルプレート
IH対応グリルプレート

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